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- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
三靶等離子濺射鍍膜儀（增強(qiáng)型）
產(chǎn)品型號(hào)
CY-PLZ180-III-DC-Q
樣 品 臺(tái)
尺寸
100mm
旋轉(zhuǎn)速度
1~20rpm可調(diào)
加熱溫度
≤500℃
控溫精度
±1℃ PID控溫
等離子濺射靶
數(shù)量
2英寸x3
冷卻方式
水冷
真空腔體
腔體尺寸
φ180mm X 200mm
觀察窗口
全向可視
腔體材料
高純石英
開啟方式
頂蓋拆卸式
上下蓋材質(zhì)
304不銹鋼
抽氣接口
KF25
進(jìn)氣接口
1/4英寸卡套接頭
電源配置
數(shù)量
直流電源x1
輸出功率
*大150W
濺射電源
3000V
*大濺射電流
50mA
真空系統(tǒng)
真空泵類型
雙極旋片真空泵
抽氣接口
KF25
排氣接口
KF16
抽氣速率
1.1L/s（4m3/h）
極限真空度
≥0.1Pa
真空測量
電阻真空規(guī)
其 他
供電電源
AC 220V 50Hz
整機(jī)功率
2kW
整機(jī)尺寸
550mm X 450mm X550mm
整機(jī)重量
30kg
