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產品名稱：薄膜膜厚監測儀
產品型號：CY-MT
產品廠商：成越科儀
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簡單介紹：

本膜厚監控儀適用于真空電阻熱蒸發、磁控濺射等鍍膜厚度測量，到達設置厚度自動關閉擋板；通過液晶顯示使您能連續獲取完整的沉積數據，包括速率、厚度和晶體振蕩頻率. 1、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點

詳情介紹：

產品名稱	膜厚監測儀
主要特點	1、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
技術參數	監測組件 1、電源：DC 5V（±10%），*大電流400mA 2、頻率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 4、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 5、測量速度：100ms-1s/次，可設置 6、測量范圍：500000?（鋁） 7、標準傳感器晶體：6MHz 8、計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無） 9、模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出） 10、工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm
	顯示儀 1、輸入電源：AC 220V±10% 2、輸出電源：DC 5V 3A 3、顯示器：12×2數碼管與LED 4、通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位，奇偶校驗：無） 5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm
	CY-TM106-3探頭 1、適用晶片頻率：6MHz 2、適用晶片尺寸：?14mm 3、安裝法蘭：CF35 4、冷卻水管：?3mm，長度300mm、500mm、1000mm 5、冷卻水壓：<0.3MPa 6、氣動擋板路管：?3mm 7、壓縮空氣壓力：<0.8MPa，>0.5MPa 8、烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃ 9、電氣接口：BCN插座

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豫公網安備 41019702002438號

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